Ez a tanulmány az IC-ipar fejlesztésének előmozdításának fontosságától és sürgősségétől az IC-jeid-lapkák felületi környezeti szennyeződésének szabályozására (SECC) szolgáló kulcsfontosságú technológiáig terjed. A közelmúltban az IRDS 2020 egyértelműen kifejtette a hozamnövelés kulcsfontosságú aspektusát, rámutatva, hogy a levegőben lévő molekuláris szennyeződés (AMC) fontos tényező, amely véletlenszerű hibákat okoz a lapkákban, és ez a hatás súlyosabbá válik a lapka vonalszélességének csökkenésével. Ebben a tanulmányban a 2021 és 2027 közötti felszíni környezeti szennyeződés szabályozására vonatkozó technológiai követelményeket soroljuk fel a különböző légszennyező anyagok megengedett szabályozási koncentrációja szerint az egyes gyártási folyamatokban, ppTV-ben kifejezve. A szigorú szabályozási szabvány miatt a tisztaterekben és a kapcsolódó szabályozott környezetekben a kémiai szennyezés-szabályozó szellőztetőrendszerek tervezése, a levegő kémiai szűrőjének kiválasztása, beállítása és teljesítménykövetelményei szigorúan a szabványnak megfelelően kell végrehajtani. Ezenkívül a levegő kémiai szűrőjének teljesítménymutatói, a szűrő tesztberendezése és a vizsgálati eljárás az ASHRAE 145.2-2016 szabványban és egyéb tartalmakban szerepelnek. bevezették.

Vagy beteljesíthetnénk a takarítási álmokat azáltal, hogy tisztatéri törlőkendők ? Szerintem a válasz IGEN.